[发明专利]激光束传送系统和方法及使用该系统和方法的激光剥离法有效
| 申请号： | 200780048034.6 | 申请日： | 2007-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101595572A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 柳炳韶;李成勳 | 申请（专利权）人： | QMC株式会社 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光束传送系统和方法，以及制备垂直型LED所必需的工艺之一的激光剥离(LLO)方法。本发明的激光束传送系统包括：激光束源，用于射出激光束；光束均化器，用于提高所述激光束的能量强度的均匀性，所述光束均化器包括微透镜型复眼透镜；遮盖，用于遮蔽已穿透光束均化器的所述激光束在焦平面处的截面的外围区域；以及成像透镜，用于将所述激光束施加到目标的单位照射区域。根据本发明，提高了整个束斑上的能量强度的均匀性，因而也显著提高了工艺生产率。此外，简化了制造工艺，降低了制造成本，从而提高了在LED市场的竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 激光束 传送 系统 方法 使用 激光 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种激光束传送系统，包括：激光束源，用于射出激光束；光束均化器，用于提高所述激光束的能量强度的均匀性，所述光束均化器包括微透镜型复眼透镜；遮盖，用于遮蔽已穿透光束均化器的所述激光束在焦平面处的截面的外围区域；以及成像透镜，用于将所述激光束施加到目标的单位照射区域。
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