[发明专利]微机械多轴加速度传感器有效
| 申请号： | 200780048385.7 | 申请日： | 2007-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN101568840A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | J·克拉森;A·弗兰克;D·舒伯特;K·克尔;R·赖兴巴赫 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械加速度传感器，其包括基底(1)、平行于基底平面延伸的弹性薄膜(5)和振动质量(6)，弹性薄膜(5)部分地与基底连接并具有能够垂直于基底平面偏移的平面区域，振动质量(6)的重心位于弹性薄膜(5)平面之外，其中，振动质量(6)隔开距离地在基底区域上方延伸，这些基底区域位于弹性薄膜(5)区域之外并且具有由多个电极(3a，3b，3c，3d)组成的装置，这些电极分别与振动质量(6)的对置区域在电路技术上构成电容器，并且振动质量(6)在其中心区域在弹性薄膜(5)的能够垂直于基底平面偏移的平面区域中固定在弹性薄膜(5)上。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 械多轴 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种微机械加速度传感器，其包括基底(1)、平行于基底平面延伸的弹性薄膜(5)和振动质量(6)，弹性薄膜(5)部分地与基底连接并且具有能够垂直于基底平面偏移的平面区域，振动质量(6)的重心位于弹性薄膜(5)平面之外，其中，振动质量(6)隔开距离地在基底区域上方延伸，这些基底区域位于弹性薄膜(5)区域之外并且具有由多个电极(3a，3b，3c，3d)组成的装置，这些电极(3a，3b，3c，3d)分别与振动质量(6)的对置区域在电路技术上构成电容器，并且振动质量(6)在其中心区域在弹性薄膜(5)的能够垂直于基底平面偏移的平面区域中固定在弹性薄膜(5)上。
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