[发明专利]用阴极溅射制作方向层的方法及其实施装置

摘要

为了制作例如带有恒定标称方向性的方向层，比如带优选磁性方向的低保持层，或者由阴极溅射在衬底表面(4)上形成的支承层，进行涂覆工艺使得从靶表面(6)发射的颗粒主要从其投影位于围绕标称方向的优选角度范围内的方向撞击。其实现例如是通过定位围绕板(9)的准直仪，所述板(9)以与衬底表面(4)正交的角度平行于标称方向在衬底表面(4)前方延伸，但是，代替或除该定位外，也能调整或控制衬底表面(4)相对于靶表面(6)的位置或运动。

主权项

1.一种用阴极溅射在涂覆期间于衬底表面(4)上制作方向层的方法，在每一情形下，在该表面的切向平面内有一个标称方向性，从而在真空腔室(10)内定位至少一个带靶表面(6)的靶(5)，从靶表面(6)的至少一个区域发射出的颗粒撞击衬底表面(4)的每个目标点，靶表面(6)的原始点确定目标点处的入射方向，其特征在于：在每一情形下，以涂覆期间的平均值计，从入射方向撞击的颗粒的累积入射密度在与标称方向相应的方向上代表一个最大值，其中在目标点处相同正向投影于衬底表面(4)的切向平面。