[发明专利]电镀卷式柔性太阳能电池基板的方法与设备无效
| 申请号： | 200780049988.9 | 申请日： | 2007-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN101601121A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 瑟奇·洛帕汀;大卫·伊格尔沙姆;查尔斯·盖伊 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L31/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施方式可利用新颖的电镀方法和设备来形成低价太阳能电池用的金属接点结构。所述的方法和设备可去除过去必须实施一次或更多次高温丝网印处理才能在太阳能电池机基板表面上形成导电特征的步骤。形成在一太阳能电池装置中的内连线电阻会大幅影响太阳能电池的效率。受益于本发明的太阳能电池基板包括柔性基板，其具有含有机材料、单晶硅、多晶硅(multi-crystalline silicone)、聚晶硅(polycrystalline silicone)、锗、砷化镓、碲化镉、硫化镉、铜铟镓硒、硒化铜铟、磷化铝镓铟的有源区(active region)；以及异质结电池，用来将光能转变成电能。所述柔性基板可具有一柔性底部，其适于支撑所述太阳能电池的有源区。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 柔性 太阳能电池 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种在一柔性太阳能电池基板上形成一金属层的设备，包含：一电极，其与一电源为电连通；一柔性基板组件，其包含：一支撑物，适于固持一柔性基板的一部分；和一致动器，其与所述支撑物相连且适于将所述柔性基板的一金属化表面放置在紧邻所述电极的一欲求位置处；一接点，其与所述电源为电连通；和一推板，其适于促进所述柔性基板的金属化表面抵靠着所述接点。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司，未经应用材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780049988.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
