[发明专利]电子束描绘设备及其台架机构有效
| 申请号： | 200780052364.2 | 申请日： | 2007-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101641742A | 公开（公告）日： | 2010-02-03 |
| 发明（设计）人： | 北原弘昭 | 申请（专利权）人： | 先锋株式会社 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26;B23K15/00;B23Q1/48 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 包括旋转台架和线性运动台架的定位机构容纳在真空室中，管道从所述真空室的外部连接到所述定位机构。在真空室中形成在所述定位机构下方延伸的空间。将所述定位机构与所述真空分隔壁彼此连接的所述管道布置成大致U形，使得所述管道可响应于线性运动台架的运动变形，而不接触在所述空间中真空室的内壁。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 描绘 设备 及其 台架 机构 | ||
【主权项】：
1、一种台架机构，该台架机构包括：定位机构，该定位机构包括旋转台架和线性运动台架，所述旋转台架具有回转台，所述线性运动台架使所述旋转台架线性运动以定位；真空室，该真空室容纳所述定位机构；以及至少一个柔性管道，该柔性管道使所述真空室的外部与所述定位机构的内部连通，其中：所述真空室具有在所述定位机构下侧的下方伸展的下部空间，并且所述管道从所述定位机构的表面穿过所述下部空间引到所述真空室的内壁。
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