[发明专利]振动膜构造及声波传感器无效
| 申请号： | 200780053193.5 | 申请日： | 2007-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN101682821A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 三由裕一;竹内祐介;山冈彻;小仓洋 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;G01L9/00;H01L29/84 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种振动膜构造及声波传感器。形成有从基板101的上表面贯穿到底面的通孔(102)。在基板(101)上形成有覆盖通孔(102)的振动电极膜(103)。位于通孔(102)上的那一部分振动电极膜(103)起振动膜(104)的作用。基板(101)上表面的通孔(102)的开口形状为六角形。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 构造 声波 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种振动膜构造，包括：从硅基板的上表面贯穿形成到底面的通孔以及形成在所述硅基板的上表面上且将所述通孔覆盖起来的振动电极膜，其特征在于：所述硅基板上表面上的所述通孔的开口形状为六角形。
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