[发明专利]坐标测量机中由于动态变形而产生的测量误差的补偿

摘要

一种测量机(1)，其包括可移动单元(7)，可移动单元设置有多个可沿着坐标轴移动的构件(8，10，12)以用于在测量空间中移动测量传感器(3)，其中，激光传感器(26)与可移动构件(8)相关联，并提供与可移动单元(7)的动态变形相关的值；处理所述值，以补偿测量机(1)在动态变形之后产生的测量误差。

主权项

一种测量机，包括用于在测量空间中移动测量传感器(3)的可移动单元(7)，所述可移动单元(7)包括至少一个在驱动装置(13)的推动下沿着轴线移动的构件(8；12；42；56)并且所述可移动单元(7)承受动态变形，所述测量机的特征在于，包括激光传感器(16)，所述激光传感器设置有固定至可移动构件的第一部分的激光发射器(22)和固定至所述可移动构件(8；12；42；56)的第二部分且被设计为接收由所述发射器(22)产生的激光束(26)的目标(28)，在所述动态变形之后，所述第一部分和第二部分经历相对位移，所述测量机还包括装置(14)，该装置用于响应所述激光束(26)在所述目标(28)上的入射点相对于未变形条件下的参考位置的位移，来补偿由所述可移动单元(7)的所述动态变形而导致的所述测量机(1)的测量误差。