[发明专利]基板输送系统有效
| 申请号： | 200780100714.8 | 申请日： | 2007-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN101801816A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 堀健彦;田中敏治 | 申请（专利权）人： | 平田机工株式会社 |
| 主分类号： | B65G1/00 | 分类号： | B65G1/00;B65G19/06;H01L21/677 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 史雁鸣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板输送系统，所述基板输送系统在收纳基板的第一以及第二收纳盒和对所述基板进行处理的处理装置之间输送基板，所述处理装置在与所述第一以及第二收纳盒的配置方向正交的方向与所述第一以及第二收纳盒分离地配置。该基板输送系统具备：同时输送传送器、传送器移动组件、个别输送传送器、定位组件，所述同时输送传送器能够同时输送多张基板；所述传送器移动组件在所述第一以及第二收纳盒之间移动所述同时输送传送器；所述个别输送传送器能够个别地输送所述多张基板；所述定位组件进行所述个别输送传送器上的所述基板和所述处理装置的定位。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 系统 | ||
【主权项】：
一种基板输送系统，所述基板输送系统在收纳基板的第一以及第二收纳盒和对所述基板进行处理的处理装置之间输送基板，所述处理装置在与所述第一以及第二收纳盒的配置方向正交的方向与所述第一以及第二收纳盒分离地配置，其特征在于：具备同时输送传送器、传送器移动组件、个别输送传送器、定位组件，所述同时输送传送器具有能够在与所述基板的输送方向正交的方向排列地载置多张所述基板的宽度，能够在所述输送方向同时输送所述多张所述基板；所述传送器移动组件在第一位置和第二位置之间在所述配置方向移动所述同时输送传送器，所述第一位置是在与所述第一收纳盒之间进行所述基板的移载的位置，所述第二位置是在与所述第二收纳盒之间进行所述基板的移载的位置；所述个别输送传送器配置在所述同时输送传送器和所述处理装置之间，具有能够在与所述输送方向正交的方向排列地载置所述多张所述基板的宽度，能够在所述输送方向个别地输送所述多张基板；所述定位组件进行所述个别输送传送器上的所述基板和所述处理装置的定位。
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