[发明专利]FIC设备以及在过压范围内运行FIC设备的方法无效
| 申请号： | 200780101047.5 | 申请日： | 2007-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN101821430A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | F·-J·拉德鲁;A·诺达尔姆;M·奥特 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | C23G5/00 | 分类号： | C23G5/00;B08B7/00;F01D25/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 曹若 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 按本发明的FIC设备(1)能够在超大气压的压力范围内运行，从而与现有技术相比反应气体(7)能够更好地进入到有待清洗的裂缝中，由此强化反应气体(7)与氧化物之间的化学反应。 | ||
| 搜索关键词： | fic 设备 以及 范围内 运行 方法 | ||
【主权项】：
FIC设备(1)，该FIC设备(1)能够将构件(4、120、130、155)容纳在反应室(10)中并且借助于反应气体或反应气体混合物将氧化产物和/或腐蚀产物从所述构件(4、120、130、155)上清除，该FIC设备具有器件(13)，所述器件(13)实现了将FIC设备(1)的反应室(10)中的反应气体或者反应气体混合物的压力(p)调节得大于大气压(pat)。
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