[发明专利]电压可变型薄膜沉积方法及其设备无效
| 申请号： | 200780101053.0 | 申请日： | 2007-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN101827953A | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 裵相烈 | 申请（专利权）人： | 艾细饰株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C16/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 谢顺星 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种电压可变型薄膜沉积装置和方法。该电压可变型薄膜沉积方法包括：施加偏压，同时在用户设置的时间段内连续变化该偏压的大小，以确定是否使用预设的偏压值；如果确定使用该预设的偏压值，作为该确定的结果，基于预设的偏压值沉积薄膜，而如果确定使用新的偏压值，则设置新的偏压值；当设置了新的偏压值时，选择是从低偏压还是从高偏压施加电压；当选择了起始电压时，选择偏压的增加/减少斜率类型；以及当选择了电压斜率时，开始沉积薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 电压 变型 薄膜 沉积 方法 及其 设备 | ||
【主权项】：
一种电压可变型薄膜沉积方法，包括：施加偏压，将薄膜材料引导至目标物体，以使得所述薄膜材料被沉积在所述目标物体上，同时在用户所设置的时间段内连续改变所述偏压的大小。
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