[发明专利]缓冲盘间距调节装置及用该缓冲盘传送半导体器件的装置

摘要

通过间距调节装置来调节用于容纳半导体器件的多个单元缓冲盘之间的间距，所述装置包括导向件、间距调节板和多个连接件。导向件沿间距方向对单元缓冲盘进行导向，并且间距调节板靠近缓冲盘且可沿垂直于间距方向的方向移动。间距调节板具有多个沿不同方向延伸的轨迹以调节单元缓冲盘之间的间距。连接件沿轨迹可移动地设置，并且连接至单元缓冲盘，以通过移动间距调节板来调节单元缓冲盘之间的间距。

主权项

一种调节缓冲盘间距的装置，所述缓冲盘包括多个用于容纳半导体器件的单元缓冲盘，所述装置包括：导向件，其沿所述缓冲盘的间距方向对所述缓冲盘进行导向；靠近所述缓冲盘的间距调节板，所述间距调节板可沿垂直于所述缓冲盘的间距方向的方向移动，并且具有沿不同方向延伸的多个轨迹，以调节所述单元缓冲盘之间的间距；及多个连接件，其沿所述轨迹可移动地设置且连接至所述单元缓冲盘，以通过移动所述间距调节板来调节所述单元缓冲盘之间的所述间距。