[发明专利]无弧斑的真空电弧等离子体蒸发离化源无效
| 申请号： | 200810000001.0 | 申请日： | 2008-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN101476106A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒 | 申请（专利权）人： | 王殿儒 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/24;C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100095北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种无弧斑的真空电弧等离子体蒸发离化源，在真空度10-10-3Pa的范围内，在各种气体气氛下，采用圆形断面的圆柱形阴极，辅助阳极设置在阴极周围，在直流工作电流100-2000A，工作电压10-40V，连续可调情况下，在阴极断面上，实现无弧斑的真空电弧，以产生无液滴、高电离度、高密度的金属蒸气等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 无弧斑 真空 电弧 等离子体 蒸发 离化源 | ||
【主权项】：
1. 一种无弧斑的真空电弧等离子体蒸发离化源，其特征是在真空度10-10-3Pa范围内，多种工作气体气氛下，采用可消耗的金属阴极、异形金属阳极，分别耦合到电弧等离子体放电所需的直流弧电源上，使在作为蒸发面的阴极表面上，实现无弧斑的真空电弧等离子体放电，以产生无液滴、高电离度、高密度的金属蒸气等离子体。
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