[发明专利]溅射用靶装置无效
| 申请号： | 200810000046.8 | 申请日： | 2008-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN101220460A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 尹汉镐;赵祐奭;金眩秀;金仁燮;崔成龙;崔智雄;朴喆基;朴炯律 | 申请（专利权）人： | 三星康宁株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陆弋;朱登河 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种相对大面积对象物的行进方向而配置在宽度方向上的溅射用靶装置，该溅射用靶装置包括：背板，含有中央表面以及在中央表面的两侧以降低规定的级差而形成的至少一个台阶表面；基准靶材，安装在背板的中央表面上；和加强靶材，安装在背板的台阶表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种溅射用靶装置，相对大面积对象物的行进方向而配置在宽度方向上，其特征在于，包括：背板，含有中央表面以及在所述中央表面的两侧以降低规定的级差而形成的至少一个台阶表面；基准靶材，安装在所述背板的中央表面上；和加强靶材，安装在所述背板的台阶表面上。
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