[发明专利]灯故障检测器有效
| 申请号： | 200810000075.4 | 申请日： | 2008-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN101217843A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 欧勒格·V·塞雷布里安诺夫;亚历山大·戈尔丁;约瑟夫·迈克尔·拉尼什 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B37/03 | 分类号： | H05B37/03 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于为快速热处理系统中使用的灯组检测灯故障的装置和方法。该灯故障检测系统使能识别多个灯中的失效灯，并还提供故障类型的识别。该装置对经过每个灯测得的电压降值应用灯故障检测方法来确定灯是否处于故障状态。在一个实施方式中，场可编程门阵列用于对灯电压值应用故障检测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 故障 检测器 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测用于半导体衬底的热处理的灯组中的灯故障的灯故障检测装置，包括：数据采集模块，其用于在沿通过一组串联连接的灯组形成的电路路径的不同采样位置处采用电压信号；以及控制器，其适于基于经过至少两个灯的电压降，如由所采样的电压信号确定的，来检测一个或多个所述灯中的故障。
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