[发明专利]探针高度测量系统及其方法无效
| 申请号： | 200810000322.0 | 申请日： | 2008-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN101476861A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 陈天青;杨家森;李宏德 | 申请（专利权）人： | 尚富煜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种探针高度测量系统，用以测量一探针治具上探针的高度，该探针高度测量系统包括有一测量单元以及一电连结于该测量单元的信号处理单元；该测量单元可供导电且具有一趋向该探针治具位移的测量行程，该信号处理单元亦电连结于该探针治具上各探针，而取得该测量单元于该测量行程上的位置信息；其中，于该测量行程中具有至少一与该探针接触的接触位置，该测量单元于该接触位置产生一侦测信号传递至至少一该探针，并将该侦测信号传送至该信号处理单元，对应该位置信息以决定至少一位于该接触位置探针的高度。通过本发明可以快速定位一探针治具上所有探针的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 高度 测量 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种探针高度测量方法，用以测量探针治具(10)上探针(11)的高度，其特征在于，包括步骤有：接触探针的手段：驱动可供导电的测量单元(20)与所述探针(11)接触；取得接触位置信息的手段：传送所述测量单元(20)与所述探针(11)所接触的位置信息(L1、L2、L3)至信号处理单元(30)；侦测所接触探针的手段：所述测量单元(20)产生侦测信号(S1、S2、S3)于所接触的所述探针(11)；决定探针高度的手段：所述探针(11)传递所述侦测信号(S1、S2、S3)于所述信号处理单元(30)，对应所述位置信息(L1、L2、L3)以决定至少一位于所述接触位置探针(11)的高度。
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