[发明专利]光学系统以及光学显微镜无效
| 申请号： | 200810000403.0 | 申请日： | 2006-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN101221287A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 田名纲健雄;杉山由美子 | 申请（专利权）人： | 横河电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾红霞;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开一种将入射光的强度分布校正为平坦的强度分布的光学系统，所述入射光在平面的X方向和Y方向上具有不同的发散角，所述光学系统包括：第一透镜组，其包括至少一个柱面透镜，并且在发散角的较大发散角方向上具有正折射率，在垂直于所述较大发散角方向的方向上没有折射率；第二透镜组，其包括至少一个柱面透镜，并且在发散角的较小发散角方向上具有正折射率，在垂直于所述较小发散角方向的方向上没有折射率，在所述入射光方向上所述第二透镜组位于所述第一透镜组之后。在该光学系统中，使得所述入射光准直，并且利用所述第一透镜组的球面像差和所述第二透镜组的球面像差将所述入射光的强度分布校正为平坦的强度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 光学系统 以及 光学 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种将入射光的强度分布校正为平坦的强度分布的光学系统，所述入射光在平面的X方向和Y方向上具有不同的发散角，所述光学系统包括：第一透镜组，其包括至少一个柱面透镜，并且在发散角的较大发散角方向上具有正折射率，在垂直于所述较大发散角方向的方向上没有折射率；第二透镜组，其包括至少一个柱面透镜，并且在发散角的较小发散角方向上具有正折射率，在垂直于所述较小发散角方向的方向上没有折射率，在所述入射光方向上所述第二透镜组位于所述第一透镜组之后。
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