[发明专利]激光可调节深度标记系统和方法有效
| 申请号： | 200810000675.0 | 申请日： | 2008-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN101486278A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | Y·耿;X·赵 | 申请（专利权）人： | AXT公司 |
| 主分类号： | B41J2/475 | 分类号： | B41J2/475;G02B27/28;G02B7/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王 勇 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于深度可调节的激光标记的设备和方法。在一个实施例中，该系统用在Nd-YAG激光标记机中，用于在半导体工业中进行晶片加工，该系统具有对标记深度和在深标记和浅标记之间调整工作范围的智能控制。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 调节 深度 标记 系统 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种激光标记设备，包括：用于产生激光的激光发生单元；用于为所述激光发生单元供电的激光电源；用于产生扩展的激光的扩束器；用于调整扩展的激光的能量密度的可调节的偏振设备；以及用于接收调整了能量密度的扩展的激光并将其指向一片材料表面的振镜扫描元件，其中调整了能量密度的扩展的激光能够在所述该片材料表面产生具有低飞溅的标记。
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