[发明专利]管路压力平衡系统有效
| 申请号： | 200810001062.9 | 申请日： | 2008-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN101221361A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 郑为元;陈闵翔;苏士博;林志远;陈豊涵 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 台湾*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光阻涂布机台的管路压力平衡系统，包括喷嘴组件、排放管路以及第一液封压力平衡瓶。喷嘴组件用以涂布光阻液。排放管路连接至喷嘴组件，以排放光阻液。第一液封压力平衡瓶具有第一短管以及第一长管，第一短管连接至排放管路，第一长管则与管路压力平衡系统外界连通，用以平衡排放管路内的压力。当排放管路内为负压时，通过第一长管自管路压力平衡系统外界补充气体至排放管路，以顺利排放光刻胶液。同时仅需观察第一液封压力平衡瓶内隔绝液体的液面高度是否改变，即能判定排放管路内是否阻塞。 | ||
| 搜索关键词： | 管路 压力 平衡 系统 | ||
【主权项】：
1.一种管路压力平衡系统，用于一光刻胶涂布机台，其特征在于，包括：一喷嘴组件，设置于该光刻胶涂布机台上，用以涂布一光刻胶液；一排放管路，连接至该喷嘴组件，以排放该光刻胶液；以及一第一液封压力平衡瓶，具有一第一短管以及一第一长管，该第一短管连接至该排放管路，该第一长管与该管路压力平衡系统外界连通，以平衡该排放管路内的压力。
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