[发明专利]基板保持台和使用其的成膜方法、成膜装置无效
| 申请号： | 200810001390.9 | 申请日： | 2008-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN101225505A | 公开（公告）日： | 2008-07-23 |
| 发明（设计）人： | 川口昌男 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使使用热膨胀大的玻璃基板也能够抑制成膜范围减少的基板保持台和使用该基板保持台的成膜方法。当在玻璃基板(2)表面形成薄膜时将玻璃基板(2)保持为立起状态的基板保持台(7)中，包括具有规定的间隙以进行玻璃基板(2)的宽度方向的定位的左侧支撑部(22)和右侧支撑部(23)，在这些左侧支撑部(22)和右侧支撑部(23)上，分别以与玻璃基板(2)的左右端部重叠的方式设置有使玻璃基板(2)不倒下的爪部(22a、23a)，并且，在左侧支撑部(22)和右侧支撑部(23)中，玻璃基板(2)被偏置到的左侧支撑部(22)具有的爪部(22a)的长度设定为比右侧支撑部(23)具有的爪部(23a)的长度短。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 使用 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板保持台，当在基板表面形成薄膜时，将基板保持为立起状态，其特征在于：包括具有规定的间隙以进行所述基板的宽度方向的定位的左侧支撑部和右侧支撑部，在这些左侧支撑部和右侧支撑部上，分别以与所述基板的左右端部重叠的方式设置有使所述基板不倒下的爪部，并且，在所述左侧支撑部和右侧支撑部中，所述基板被偏置到的一方的支撑部具有的爪部的长度比另一方的支撑部具有的爪部的长度短。
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