[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明提供一种激光加工装置，能够自动调整激光光线的光束直径和发散角(平行度)。该装置具备卡盘工作台、以及具有激光光线振荡器和聚光透镜的激光光线照射构件，并且具有：光束调整构件，配设在激光光线振荡器和聚光透镜之间，调整从激光光线振荡器振荡出的激光光线的光束直径和发散角；光束直径及发散角检测构件，检测通过了光束调整构件的激光光线的光束直径和发散角；以及控制构件，根据来自光束直径及发散角检测构件的检测信号，运算从激光光线振荡器振荡出的激光光线的光束直径和发散角，根据运算到的从激光光线振荡器振荡出的激光光线的光束直径和发散角、以及入射到光束直径及发散角检测构件的期望光束直径和发散角，控制光束调整构件。

主权项

1.一种激光加工装置，其具有保持被加工物的卡盘工作台、和对保持在该卡盘工作台上的被加工物照射脉冲激光光线的激光光线照射构件，该激光光线照射构件具有激光光线振荡器、和对由该激光光线振荡器振荡出的激光光线进行会聚的聚光透镜，其特征在于，所述激光加工装置具有：光束调整构件，其配设在所述激光光线振荡器和所述聚光透镜之间，对从所述激光光线振荡器振荡出的激光光线的光束直径和发散角进行调整；光束直径及发散角检测构件，其对通过了所述光束调整构件的激光光线的光束直径和发散角进行检测；以及控制构件，其根据来自所述光束直径及发散角检测构件的检测信号，来运算从所述激光光线振荡器振荡出的激光光线的光束直径和发散角，并根据该运算到的从所述激光光线振荡器振荡出的激光光线的光束直径和发散角、以及入射到所述光束直径及发散角检测构件的期望的光束直径和发散角，来控制所述光束调整构件。