[发明专利]探针针尖位置检测方法及装置、对准方法以及探针装置

摘要

本发明提供探针的针尖位置的检测方法、对准方法、针尖位置检测装置和探针装置。本发明的探针(12A)的尖端位置的检测方法的特征在于：在使用设置在晶片卡盘(11)上的包括传感器部(162)和接触体(162B)的针尖位置检测装置(16)对多个探针(12A)的针尖位置进行检测时，包括：通过晶片卡盘(11)使针尖位置检测装置(16)上升，使接触体(162C)上的软质部件(162D)与多个探针(12A)的针尖接触的工序；通过品片卡盘(11)的进一步上升，使多个探针(12A)不弹性变形地、使接触体(162B)向传感器部(162)一侧下降的工序；和将接触体(162B)开始下降的位置判断为多个探针(12A)的针尖高度的工序。

主权项

1. 一种探针的针尖位置的检测方法，其在使能够移动的载置台上的被检查体与多个探针电接触，进行所述被检查体的电特性检查时，使用包括对所述多个探针的针尖进行检测的传感器部和属于该传感器部的能够移动的接触体的针尖位置检测装置，对所述多个探针的针尖位置进行检测，其特征在于，包括：通过所述载置台移动所述针尖位置检测装置，使所述接触体与所述多个探针的针尖接触的第一工序；通过所述载置台的进一步移动，使所述多个探针不弹性变形地、使所述接触体向所述传感器部一侧移动的第二工序；和将所述接触体开始移动的位置判断为所述多个探针的针尖位置的第三工序。