[发明专利]用于电镀工件的系统和方法有效
| 申请号： | 200810004082.1 | 申请日： | 2008-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101302644A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | C·L·阿尔文;R·J·贝赞玛;H·D·考克斯;K·W·塞姆科 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D17/10;C25D5/00;C25D3/56 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 所公开的是电镀系统和相关电镀方法的实施方式，其允许利用均匀的镀层厚度和动态改变合金成分的方式来沉积金属合金。更具体地，通过使用多个阳极，每一个阳极具有不同类型的可溶性金属，该系统和方法不需要周期性地替换电镀液，并还允许通过将不同电压施加到不同金属上来可选择性地改变沉积合金中的金属比率。该系统和方法通过可选择性地改变电镀液中阳极的形状和布置进一步避免了不均匀的电流密度和电势分布，并且因此避免了现有技术方法中展示出的不均匀镀层厚度。另外，该系统和方法通过使用电绝缘的可选择性地放置的指定挡板来允许精调镀层厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电镀 工件 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于电镀工件的系统，所述系统包括：容器，其适于容纳溶液以及在所述溶液内的所述工件；第一阳极层，其包括邻近所述容器中的第一壁的至少一个第一阳极，其中所述至少一个第一阳极包括第一金属；以及第二阳极层，其包括邻近所述第一阳极层的至少一个第二阳极，其中所述至少一个第二阳极包括不同于所述第一金属的第二金属，并且其中所述第一阳极层中的所述至少一个第一阳极和所述第二阳极层中的所述至少一个第二阳极交叠。
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