[发明专利]透光型薄膜太阳能电池模块及其制造方法有效
申请号: | 200810004995.3 | 申请日: | 2008-01-31 |
公开(公告)号: | CN101499438A | 公开(公告)日: | 2009-08-05 |
发明(设计)人: | 吴建树;翁得期 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L21/82 | 分类号: | H01L21/82;H01L27/142 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种透光型薄膜太阳能电池模块及其制造方法。该制造方法,在不透明基板上的第一电极材料层中已先形成二方向的切割道,如此可避免后续高温的激光切割工艺而导致短路的问题,而影响工艺成品率。另外,透光型薄膜太阳能电池模块具有贯穿不透明基板的孔洞,因此可提高电池的透光率。 | ||
搜索关键词: | 透光 薄膜 太阳能电池 模块 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种透光型薄膜太阳能电池模块的制造方法,包括:在不透明基板上形成第一电极材料层;移除部分该第一电极材料层,以形成将该第一电极材料层分隔成多个带状电极材料层的多条第一Y方向切割道,以及相交于该第一Y方向切割道的多条第一X方向切割道,使该第一电极材料层分隔成第一梳型电极与二维排列的多个第一块状电极;形成光电转换层,覆盖该不透明基板、该第一电极与部分该第一梳型电极;移除部分该光电转换层,以于该第一电极上方形成相对平行该第一Y方向切割道的多条第二Y方向切割道;形成第二电极材料层,覆盖该光电转换层、该第一电极与该不透明基板;移除部分该第二电极材料层与部分该光电转换层,以形成曝露出该第一块状电极表面以及该不透明基板表面的多条第三Y方向切割道,以及于该第一X方向切割道中形成多条第二X方向切割道,裸露出该不透明基板,使该第二电极材料层分隔成第二梳型电极与二维排列的多个第二块状电极;以及移除部分该第二X方向切割道以及该第三Y方向切割道所裸露的该不透明基板,以在该不透明基板中形成多个孔洞。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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