[发明专利]彩色图像传感器、彩色滤光片及其制造方法

摘要

本发明提供一种彩色影像图像传感器、彩色滤光片及其制造方法，其中该彩色滤光片的制作方法，包括下列步骤：提供一基板；毯覆式形成一平坦层于该基板上；形成一第一彩色层于该平坦层上；对该第一彩色层施以曝光及显影工艺，以形成一图案化第一彩色单元于该平坦层上；形成一第二彩色层于该平坦层和该图案化第一彩色单元上；对该第二彩色层施以曝光及显影工艺，以形成一图案化第二彩色单元于该平坦层上；形成一第三彩色层于该平坦层、该图案化第一彩色单元和该图案化第二彩色单元上；以及对该第三彩色层施以一回蚀刻工艺或化学机械研磨工艺，以形成一图案化第三彩色单元于该平坦层上。

主权项

1. 一种彩色图像传感器的制造方法，包括下列步骤：提供一基板，包括一感测像素阵列；形成一金属层间介电层于该基板上，且覆盖该感测像素阵列；毯覆式形成一第一平坦层于该金属层间介电层上；形成一第一彩色层于该第一平坦层上；对该第一彩色层施以曝光及显影工艺，以形成一图案化第一彩色单元于该感测像素阵列上方；形成一第二彩色层于该第一平坦层和该图案化第一彩色单元上；对该第二彩色层施以曝光及显影工艺，以形成一图案化第二彩色单元于该感测像素阵列上方，且与该图案化第一彩色单元相邻；形成一第三彩色层于该第一平坦层、该图案化第一彩色单元和该图案化第二彩色单元上；以及对该第三彩色层施以一回蚀刻工艺或化学机械研磨工艺，以形成一图案化第三彩色单元于该感测像素阵列上方，且介于该图案化第一和第二彩色单元之间。