[发明专利]基板的输送涂布装置有效
| 申请号： | 200810006392.7 | 申请日： | 2008-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN101254495A | 公开（公告）日： | 2008-09-03 |
| 发明（设计）人： | 升芳明;清水昭宏 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;C03C17/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 雒运朴;李伟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供基板的输送涂布装置。从用输送机构(14)的垫保持处理后的基板(W1)，用输送机构(13)的垫保持了未处理的基板(W2)的状态，输送机构向图中右侧移动，处理后的基板(W1)向交接位置浮起输送，未处理的基板(W2)向涂布处理部浮起输送。在涂布处理部向未处理的基板(W2)表面涂布涂布液期间，输送机构(14)返回校准装置，保持下一未处理的基板(W3)。输送机构(13)将完成了涂布处理的基板(W2)输送至基板搬出部，输送机构(14)将未处理的基板(W3)输送至涂布处理部的工序。输送机构向图中右侧移动，处理后的基板(W2)向交接位置浮起输送，未处理的基板(W3)向涂布处理部浮起输送。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板的输送涂布装置，其沿着基板的输送方向而连续地配置了基板搬入部、涂布处理部和基板搬出部，其特征在于，跨过上述基板输送部、涂布处理部和基板搬出部的全部而配置有工作台，该工作台在上表面形成了用于将基板浮起的空气喷出孔，将仅保持浮起了的基板的一侧而输送的输送机构，在上述工作台的两侧可分别独立移动地配设，各输送机构将一片基板经过上述基板搬入部、涂布处理部和基板搬出部连续地输送而不向另外的输送机构交接。
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