[发明专利]压电元件及液体喷头有效
| 申请号： | 200810007370.2 | 申请日： | 2003-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN101246948A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 村井正己 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/09;B41J2/14;B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电元件及使用该压电元件的液体喷头，其中所述压电元件可以得到良好的结晶性，并可提高其均匀性，此外，可以防止压电膜的破坏，从而可以得到稳定的位移特性。本发明的压电元件具有下电极、在下电极上形成的压电膜、在所述压电膜上形成的上电极，其特征在于，所述压电膜具有柱状结晶，该柱状结晶在所述上电极侧的结晶粒径比在所述下电极侧大，所述压电膜的规定面取向的取向度比其他面取向的取向度高。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 液体 喷头 | ||
【主权项】：
1.一种压电元件，具有下电极、在下电极上形成的压电膜、在所述压电膜上形成的上电极，其特征在于，所述压电膜具有柱状结晶，该柱状结晶在所述上电极侧的结晶粒径比在所述下电极侧大，所述压电膜的规定面取向的取向度比其他面取向的取向度高。
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