[发明专利]一种制探针的方法有效
| 申请号： | 200810007654.1 | 申请日： | 2008-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN101526555A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 呙升华;林东尧 | 申请（专利权）人： | 跃沄科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R3/00 | 分类号： | G01R3/00;G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 邸万杰 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种制探针的方法，其主要是关于一种探针的制造方法，该制程主要步骤为：取一金属线材作为基材，将基材进行初步蚀刻，使基材具有针头雏形，然后进行中和烘干步骤；接着进行微形整修、微蚀，而后洗净；接下来依序进行化学镀金、真空溅镀、硬化电解皮膜，最后进行着色硬化后，即可取得成品。本发明的方法制造的探针用于晶片、晶圆、晶粒的测试，该方法可使探针具有直径与夹角更小的针头，且强化针头的硬度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 方法 | ||
【主权项】：
1、一种制探针的方法，其特征在于，包含下列步骤：(a)取一金属线材经适当处理成为基材；(b)以蚀刻溶液进行初步蚀刻之后再中和烘干；(c)以微形机械对探针进行微形整修；(d)以喷溅蚀刻溶液的方式进行微蚀后，再洗净基材；(e)对基材进行化学镀金；(f)对基材进行真空溅镀；(g)对基材施以硬化电解皮膜处理；(h)进行着色硬化，完成后取得成品。
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