[发明专利]用于微机械装置的驱动控制方法及装置有效

专利信息
申请号: 200810008706.7 申请日: 2008-01-24
公开(公告)号: CN101231921A 公开(公告)日: 2008-07-30
发明(设计)人: 三岛直之;米泽游;岛内岳明;宓晓宇;高野健;青木信久;中谷勇太 申请(专利权)人: 富士通株式会社;富士通媒体部品株式会社
主分类号: H01H47/00 分类号: H01H47/00;H01H59/00;H01G5/00
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 张龙哺;冯志云
地址: 日本神奈*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种用于微机械装置的驱动控制方法及装置。该微机械装置由彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层构成。该驱动控制方法包括如下步骤:在该第一电极与该第二电极之间施加控制电压,以对该第一电极和该第二电极施加用于使该第一电极或该第二电极移位的静电力;以及以预定周期或比该预定周期更短的周期切换该控制电压的极性。本发明能够抑制微机械装置的电压控制特性中的磁滞现象的产生,并且能够比传统方法更容易地执行更精确的控制。
搜索关键词: 用于 微机 装置 驱动 控制 方法
【主权项】:
1.一种用于微机械装置的驱动控制方法,该微机械装置由彼此相对的第一电极和第二电极、以及设置在该第一电极与该第二电极之间的介电层构成,该驱动控制方法包括如下步骤:在该第一电极和该第二电极之间施加控制电压,以对该第一电极和该第二电极施加用于使该第一电极或该第二电极移位的静电力;以及以预定周期或比该预定周期更短的周期切换该控制电压的极性。
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