[发明专利]X射线管和X射线分析装置

摘要

本发明公开了X射线管和X射线分析装置。为了能够实现进一步的小尺寸和轻重量并提高灵敏度，提供：真空室(2)，其内部处于真空状态并且包括由X射线透射膜形成的窗口部分，通过该X射线透射膜可以透射X射线；安装在真空室(2)的内部的电子束源(3)，用于发射电子束e；靶T，用于通过用电子束e照射而产生初级X射线X1，并且被安装在真空室(2)的内部以便能够通过窗口部分(1)将初级X射线X1发射到外部样品S；以及X射线探测元件(4)，其被布置在真空室(2)的内部以便能够探测从样品S发射并从窗口部分(1)入射的荧光X射线和散射X射线X2，用于输出包括荧光X射线和散射X射线X2的能量信息的信号。

主权项

1、一种X射线管，包括：真空室，其内部处于真空状态，并且其包括由X射线透射膜形成的窗口部分，通过该X射线透射膜可以透射X射线；安装在真空室的内部的电子束源，用于发射电子束；靶，用于通过用电子束进行照射而产生初级X射线，并且被安装在真空室的内部，以便能够通过窗口部分将初级X射线发射到外部样品；以及X射线探测元件，其被布置在真空室的内部以便能够探测从样品发射并从窗口部分入射的荧光X射线和散射X射线，用于输出包括荧光X射线和散射X射线的能量信息的信号。