[发明专利]集成常闭PDMS微阀及制备工艺和含有该微阀的微泵

摘要

一种集成常闭PDMS微阀，该微阀包括上下两片玻璃片1、3和位于两片玻璃之间的PDMS薄膜2，其中上片玻璃1只含有样品池，下片玻璃3只含有气路控制孔，流体通道和气路控制通道分别成型于PDMS薄膜2的两面。本发明所设计的常闭阀中，流体通道和气路控制通道不是刻蚀在上下玻璃片上，而是分别成型于中间PDMS薄膜的两面，而两片玻璃上则分别只含有样品池和气路控制孔。其中，PDMS薄膜可以用同一模板重复制备，而玻璃只需要简单的钻孔，从而最大程度地减少了芯片制备过程中复杂、高成本的模板制备步骤，更加适合制备集成PDMS微阀/微泵的微流控芯片。

主权项

1. 一种集成常闭PDMS微阀，其特征在于：该微阀包括上下两片玻璃片(1)、(3)和位于两片玻璃之间的PDMS薄膜(2)，其中上片玻璃(1)只含有样品池，下片玻璃(3)只含有气路控制孔，流体通道和气路控制通道分别成型于PDMS薄膜(2)的两面。