[发明专利]基于SEMI标准的SECS通信方法有效
| 申请号： | 200810010912.1 | 申请日： | 2008-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101552794A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 于海斌;王宏;林跃;徐皑冬;周建辉;康凯;刘明哲;王水涛 | 申请（专利权）人： | 沈阳中科博微自动化技术有限公司;中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | H04L29/08 | 分类号： | H04L29/08;H04L12/54 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富;周秀梅 |
| 地址： | 110016辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于网络通信技术，具体地说是一种基于SEMI标准的SECS通信方法。包括HSMS通信模块实现设备到主机的连接，并通过网络进行数据传输步骤；及通过SECS协议模块进行SECS II编解码，实施数据收集、设备控制和异常处理步骤。采用本发明可实现半导体工厂的自动化管理，能够满足半导体器件制造过程中的高真空、高洁度、高无尘等特性要求，可使不同的设备控制系统标准化、提高生产效率、降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 semi 标准 secs 通信 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于SEMI标准的SECS通信方法，其特征在于：包括HSMS通信模块实现设备到主机的连接，并通过网络进行数据传输步骤；及通过SECS协议模块进行SECS II编解码，实施数据收集、设备控制和异常处理步骤。
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