[发明专利]基片梯度加热器

摘要

本发明公开一种基片梯度加热器，用于薄膜生长研究中对基片进行梯度加热，属于基片加热技术领域。其特征是使用直管形状的辐射加热管作为热源加热基片台；基片台上温度为梯度分布；基片与基片台接触，通过热传导获得热量被加热。本发明的效果和益处是成本低、效率高、实用性强，横向上温度均匀，便于安装使用。

主权项

1.基片梯度加热器，其特征是使用直管形状的辐射加热管作为热源加热基片台(1)，加热管(2)的外径为8～10mm，热源利用石英远红外辐射或碳纤维辐射；基片台(1)为厚1～2mm、用金属或合金材料制成的长方形薄板或梯形薄板，基片台(1)朝向加热管的一面与加热管相距1.5～3mm；基片台(1)上温度为梯度分布，基片(6)与基片台接触，通过热传导获得热量被加热。