[发明专利]石英表面化学粗糙处理方法

摘要

一种石英表面化学粗糙处理方法，它解决了现有技术存在的对石英表面处理容易造成损伤、影响石英产品的尺寸精度等缺陷，该方法是将石英产品表面火抛光后，在常温、常压下浸入盛有处理液的容器内反应，反应两小时后取出，用去离子水洗净石英产品表面的附着物后，再次浸入处理液中重复上述反应，直至石英产品的表面粗糙度R_a＝1.5μm～4.5μm。该处理工艺流程设计合理，设备简单，操作容易，得到的石英产品表面粗糙度均匀，而且不受其形状影响。在参与CVD反应过程中，可以有效减少石英表面沉积膜的龟裂和脱落，从而降低了对反应腔的污染的可能性，明显提高产品成品率和加工效率，进而延长石英产品的使用寿命，省时、降耗，降低了生产成本。

主权项

1.一种石英表面化学粗糙处理方法，其特征在于：将石英产品表面进行火抛光后，在常温、常压下浸入盛有处理液的容器内反应，反应两小时后取出，用去离子水洗净所述石英产品表面的附着物，洗净后再次浸入所述处理液中重复上述反应，直至所述石英产品表面粗糙度均匀，呈不透明状态，使处理后的表面粗糙度Ra＝1.5μm～4.Sμm；所述处理液的制备步骤如下：先选用溶液浓度为40％的分析纯氢氟酸和溶液浓度为99％的固体分析纯氟化铵混合，然后加入溶液浓度为99.5％的分析纯乙酸配置成处理液备用；所述处理液中所用原料质量比为：氢氟酸∶氟化铵∶乙酸＝(2-6)∶(4-7)∶(8-11)；所述处理液的用量以完全侵没所述石英产品为宜。