[发明专利]用于多晶体“碳头料”硅碳分离的腐蚀液及其制备方法有效
| 申请号： | 200810017582.9 | 申请日： | 2008-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN101235501A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 李振国;赵可武 | 申请（专利权）人： | 西安隆基硅材料有限公司;西安隆基硅技术有限公司;西安矽美单晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 710065陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于多晶体“碳头料”硅碳分离的腐蚀液及其制备方法，按质量百分比由以下组分混合组成：电子级浓硫酸85％～97％、二氧化锰1％～5％，双氧水1％～5％，氢氟酸1％～5％，各组分的总量为100％。按质量百分比分别取二氧化锰1％～5％、双氧水1％～5％、氢氟酸1％～5％和电子级浓硫酸85％～97％，上述各组分的总量为100％；将取得的二氧化锰、双氧水和氢氟酸混合并充分搅拌，形成混合液；将得到的混合液少量多次加入浓硫酸中，充分搅拌，即得。可将“碳头料”中的碳从多晶硅上彻底分离，得到高纯度的多晶硅材料，缓解硅原料的紧缺状况。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 多晶体 碳头料 分离 腐蚀 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于多晶体“碳头料”硅碳分离的腐蚀液，按质量百分比由以下组分混合组成：电子级浓硫酸 85％～97％；二氧化锰 1％～5％；双氧水 1％～5％；氢氟酸 1％～5％；上述各组分的总量为100％。
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