[发明专利]一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法有效
| 申请号： | 200810019237.9 | 申请日： | 2008-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN101216663A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 陈林森 | 申请（专利权）人： | 陈林森 |
| 主分类号： | G03F5/02 | 分类号： | G03F5/02;G03F7/00;H01S5/00;G02B6/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215021江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法，其特征在于：将紫外激光束经扩束、准直照在数字微反射镜上，根据待制作的导光网点形状控制数字微反射镜，出射光通过含有4F光路的投影光学系统在紫外光刻胶干板表面刻蚀导光网点；依次改变出射光与光刻胶干板的相对位置，完成各个所需导光网点的刻蚀；刻蚀后的光刻胶干板经表面金属化处理后，再进行电铸，获得所需的光导薄膜模仁。本发明通过数字微反射镜输入导光网点形状，直接采用紫外激光在光刻胶干板上刻蚀导光网点，可快速进行网点设计评价和提供样品，提高模仁的制造品质，同时，该发明有利于制造大尺寸的光导板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背光 模组 精密 薄膜 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法，其特征在于：将紫外激光束经扩束、准直照在数字微反射镜上，根据待制作的导光网点形状控制数字微反射镜，出射光通过含有4F光路的投影光学系统在紫外光刻胶干板表面刻蚀导光网点；依次改变出射光与光刻胶干板的相对位置，完成各个所需导光网点的刻蚀；刻蚀后的光刻胶干板经表面金属化处理后，再进行电铸，获得所需的光导薄膜模仁。
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