[发明专利]强激光冲击微塑性成形的方法及其装置

摘要

强激光冲击微塑性成形的方法及其装置，属于微机电系统(MEMS)加工技术和激光微加工领域，其特征是先将实验所用的靶材双面电解抛光，在压板上压附微米尺度厚的一块透明光学介质作为约束层，金属飞片紧压在光学介质上，通过压板将光学介质，金属飞片，靶材和模板固紧在专用靶材装夹器上，再开启纳秒脉冲激光器，调节好光路，使由纳秒脉冲激光器输出的激光经透镜聚焦到靶材表面，然后对纳秒脉冲激光进行单次发射操作，从而实现靶材的单脉冲激光冲击。本发明在样品中产生极高的压力和应变率。而且产生的冲击波压力加载具有较高的平面性，完整性和可重复性，能提高微金属零件表面硬度，提高微传感的灵敏度，使微驱动装置提供更高的动力，扭矩和能量。

主权项

1.强激光冲击微塑性成形的方法，其特征是先将实验所用的靶材双面电解抛光，在压板上压附微米尺度厚的一块透明光学介质作为约束层，金属飞片紧压在光学介质上，通过压板将光学介质，金属飞片，靶材和模板固紧在专用靶材装夹器上，再开启纳秒脉冲激光器，调节好光路，使由纳秒脉冲激光器输出的激光经透镜聚焦到靶材表面，然后对纳秒脉冲激光进行单次发射操作，从而实现靶材的单脉冲激光冲击，其中激光的工作状态参数为波长532nm或1064nm输出单脉冲，飞片的材料与厚度为Al片10～20μm厚度，飞片与靶材的间隙距离为10～150μm，靶材的物理参数包括金属靶材的性能、有机聚合物薄膜，以及模版的结构参数指尺寸范围为微米、亚微米、纳米尺度。