[发明专利]一种局部加热化学气相沉积装置及方法

摘要

局部加热化学气相沉积装置及方法主要采用电热丝和磁感应线圈加热器在耐高温金属/非金属基板上局部直接加热，以快速反应生成纳米和薄膜材料，该装置在反应室(1)内的底部设有隔热支架(12)，在隔热支架(12)上设置加热器(2)，在加热器(2)上设置基板(3)，在反应室(1)的两侧分别设有反应气体输入通道(4)、气体导出通道(5)。该方法无需加热整个反应室，可在金属/非金属基板上局部直接加热反应生成纳米和薄膜材料；在化学气相反应室内，电热丝加热器或磁感应线圈加热器对基板进行局部加热，当基板温度达到所需反应温度，在反应气氛及催化剂作用下，在其表面激活气相沉积反应并生成纳米或薄膜材料。

主权项

1.一种局部加热化学气相沉积装置，其特征在于：该装置包括反应室(1)、加热器(2)、基板(3)、反应气体输入通道(4)、气体导出通道(5)、加热器电极(6)、隔热支架(12)；其中，在反应室(1)内的底部设有隔热支架(12)，在隔热支架(12)上设置加热器(2)，在加热器(2)上设置基板(3)，在反应室(1)的两侧分别设有反应气体输入通道(4)、气体导出通道(5)。