[发明专利]圆片级玻璃微腔的制造方法无效
| 申请号： | 200810023417.4 | 申请日： | 2008-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN101259951A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 黄庆安;柳俊文;唐洁影;尚金堂 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 21402*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种圆片级玻璃微腔的制造方法，包括以下步骤：第一步，利用Si微加工工艺在Si圆片上刻蚀形成特定图案，第二步，将上述Si圆片与Pyrex7740玻璃圆片在小于1Pa的气氛下进行键合，使Pyrex7740玻璃上的上述特定图案形成密封腔体，第三步，将上述键合好的圆片在一个大气压下加热至810℃～890℃，保温，腔内外压力差使软化后的玻璃形成与上述微腔图案结构相应的结构，冷却，将上述圆片在常压下退火消除应力，本发明具有工艺简单、成型精确、微腔结构深宽比高、微腔表面特性好等特点。可以广泛应用于MEMS(微电子机械系统)中的玻璃微腔的制造，属于圆片级MEMS制造工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 圆片级 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种圆片级玻璃微腔的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，利用Si微加工工艺在Si圆片(1)上刻蚀形成特定图案(2)，第二步，将上述Si圆片(1)与Pyrex7740玻璃圆片(3)在小于1Pa的气氛下进行键合，使Pyrex7740玻璃上的上述特定图案形成密封腔体(5)，第三步，将上述键合好的圆片在一个大气压下加热至810℃～890℃，保温3～5min，腔内外压力差使软化后的玻璃形成与上述微腔图案结构相应的微腔结构(4)，冷却，将上述圆片在常压下退火消除应力，
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