[发明专利]X射线全息衍射光栅分束器无效
| 申请号： | 200810024295.0 | 申请日： | 2008-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN101295553A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 刘颖;谭鑫;徐向东;洪义麟;付绍军 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G21K1/06 | 分类号： | G21K1/06;G03F7/20;G03H1/08 |
| 代理公司： | 合肥金安专利事务所 | 代理人： | 金惠贞 |
| 地址： | 230026*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及X射线全息衍射光栅分束器。解决了全息光刻方法制作线密度小于100线/mm光栅很不方便的问题。本发明分束器包括光栅基片，光栅基片一侧面上设有工作光栅和调试光栅，调试光栅的栅线包含着工作光栅的栅线，且两者栅线平行，工作光栅和调试光栅的线密度比与各自的工作波长成反比，为16－165。与机械刻划法制作衍射光栅相比，本发明全息光栅分束器杂散光低，无鬼线问题，可显著缩短光栅制作周期，在几分钟至十几分钟之内即可完成全息曝光显影，栅线平行性易于控制，并且可省却光栅拼接的步骤。由于采用全息双频光栅作调试光栅，通过观察调试光栅衍射光的空间分布可以直观、方便地判断工作光栅与调试光栅的栅线平行与否。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 全息 衍射 光栅 分束器 | ||
【主权项】：
1、X射线全息衍射光栅分束器，包括光栅基片，所述光栅基片一侧面为光面，另一侧面上设有工作光栅和调试光栅，其特征在于：所述调试光栅的栅线包含着工作光栅的栅线，且调试光栅的栅线与工作光栅的栅线平行，所述工作光栅和调试光栅的线密度比值与各自工作波长成反比，为16-165。
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