[发明专利]硅太阳能电池清洗、制绒、干燥工艺及其设备

摘要

本发明提供硅太阳能电池清洗、制绒、干燥工艺及设备，其工艺：先兆声波槽式清洗制绒：利用兆声在去离子水中产生O₃，并在去离子水中添加NaOH及IPA，O₃的溶解度在10ppm以上，NaOH与IPA的比例在1∶6，NaOH浓度在2％～4％，温度控制在60℃下进行清洗制绒；制绒后的清洗：采用含有HF、O₃的水溶液，在N₂鼓泡系统下进行清洗；在硅片被抬出液面时进行干燥处理，干燥槽的上方安装有一组N₂的喷嘴，使硅片被抬出水面后就与高浓度的N₂直接接触，采用含有饱和IPA的N₂进行干燥处理，然后装片。清洗、制绒过程采用兆声波，使制绒的均匀性得到充分保障，制绒后清洗中使用氧化性极强的O₃，很好的清除K离子；整个过程采用极少量的化学试剂，减少了环境污染。

主权项

1.硅太阳能电池清洗、制绒、干燥工艺，其特征在于：具体包括以下步骤——1)兆声波槽式清洗制绒：利用兆声在去离子水中产生O3，并在去离子水中添加NaOH及IPA，O3的溶解度在10ppm以上，NaOH与IPA的比例在1∶6，NaOH浓度在2％～4％，温度控制在60℃下进行清洗制绒；2)制绒后的清洗：采用含有HF、O3的水溶液，HF浓度为2％～5％，O3的溶解度在5～10ppm，并在N2鼓泡系统下进行清洗；3)以上清洗后，在硅片被抬出液面时进行干燥处理，干燥槽的上方安装有一组N2的喷嘴，使硅片被抬出水面后就与高浓度的N2直接接触，采用含有饱和IPA的N2进行干燥处理，然后装片。