[发明专利]一种回收三氯氢硅生产尾气中H2的方法和装置有效
| 申请号： | 200810025642.1 | 申请日： | 2008-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN101279178A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 王跃林;段先健;柯嘉良;刘莉 | 申请（专利权）人： | 广州吉必盛科技实业有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/047 | 分类号： | B01D53/047;C01B3/56 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 万志香;曾旻辉 |
| 地址： | 510450广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种回收三氯氢硅生产尾气中H2的方法，其主要包括以下步骤：加压：对三氯氢硅的生产尾气进行加压；吸附：加压后的生产尾气进入变压变温吸附系统中处于吸附状态的吸附塔，吸附塔内的吸附剂吸附尾气中的SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、HCl；回收：吸附后的净化气从塔顶排出；再生：吸附塔中吸附剂的再生；其中，变压变温吸附系统为并联两台或两台以上吸附塔，吸附塔中装填有活性炭，硅氧化物吸附剂以及硅铝酸盐吸附剂。该方法具有操作简单、能耗低、净化效果好并使三氯氢硅中的杂质组分得以循环利用，减少环境污染等优点，通过该方法获得的氢气纯度大于98％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回收 三氯氢硅 生产 尾气 sub 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种回收三氯氢硅生产尾气中H2的方法，其特征是，主要包括以下步骤：(1)加压：对三氯氢硅的生产尾气进行加压；(2)吸附：加压后的生产尾气进入变压变温吸附系统中处于吸附状态的吸附塔，吸附塔内的吸附剂吸附尾气中的SiH2CL2、SiHCL3、SiCL4、HCL；(3)回收：吸附后的净化气从塔顶排出；(4)再生：吸附塔中吸附剂的再生；其中，变压变温吸附系统为并联两台或两台以上吸附塔，吸附塔中装填有活性炭，硅氧化物吸附剂以及硅铝酸盐吸附剂；使用时，其中至少一台吸附塔的吸附剂处于吸附状态，其余的吸附塔的吸附剂处于再生状态，吸附塔中吸附剂的状态进行周期性轮换。
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