[发明专利]彩色滤光片之重工流程有效
| 申请号： | 200810027630.2 | 申请日： | 2008-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN101566792A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 黄信诚;赵静 | 申请（专利权）人： | 深超光电(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G02B5/23;G02F1/13 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所 | 代理人： | 侯来旺 |
| 地址： | 518000广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种重工流程，尤其是指于检测结果错误之基板不进行曝光步骤，藉此将可以显影步骤进行重工的一种彩色滤光片之重工流程，主要包括有以下步骤：涂饰一光阻在一基板上；对基板进行一第一次检测；将检测结果正常之基板进行一曝光步骤，而检测结果错误之基板则不进行曝光步骤；将进行曝光的基板及未进行曝光的基板进行一显影步骤；及对显影后的基板进行一烘烤步骤，藉此将可节省重工步骤所需要花费的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 彩色 滤光 重工 流程 | ||
【主权项】：
1.一种彩色滤光片之重工流程，其特征在于，主要包括有以下步骤：A.涂饰一光阻在一基板上；B.对该基板进行一第一次检测步骤；C.将检测结果正常之基板上进行一曝光步骤，而检测结果错误之基板则不进行该曝光步骤；D.将曝光的基板及未进行曝光的基板进行一显影步骤；及E.将未经曝光的基板送回A步骤重工。
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