[发明专利]一种复合光路宽光谱膜厚监控系统无效
| 申请号： | 200810028233.7 | 申请日： | 2008-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN101586233A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 任豪;罗宇强;王巧彬 | 申请（专利权）人： | 广州市光机电技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;G05D5/03;G01B11/06 |
| 代理公司： | 广州市一新专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈振华 |
| 地址： | 510663广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出一种复合光路宽光谱膜厚监控系统，包括光发射装置、复合光路、光接收装置、控制电路、计算机和监控软件。其中光发射装置包括光源、调制器和驱动电路，光接收装置包括通过光纤连接的光谱仪和通过光纤连接的光学膜厚控制仪。本发明采用增加中间通光孔式的分光镜的复合光路，实现基于宽光谱扫描法的宽光谱膜厚监控系统和基于单波长极值法的光学膜厚监控系统的兼容并行使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 路宽 光谱 监控 系统 | ||
【主权项】：
1、一种复合光路宽光谱膜厚监控系统，包括光发射装置、光路、光接收装置、控制电路、计算机和监控软件，其特征是在光路系统中设置复合光路(21)，复合光路置于发射装置(1)和接收装置(3)之间，并通过光纤与接收装置相连接。
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