[发明专利]离子束抛光加工结果的预测预报方法

摘要

本发明根据修形加工过程和二维滤波过程在数学模型上的一致性，公开了一种离子束抛光加工结果的预测预报方法，该方法首先是确定抛光工艺的去除函数，然后根据去除函数确定等效的低通滤波器脉冲响应函数，再利用面形检测装置对光学镜面进行误差检测，并根据检测到的面形误差和所述滤波器脉冲响应函数来计算面形残差，根据计算所得的面形残差可以实现对离子束抛光加工结果的预测预报。在此基础上，还可根据所述滤波器脉冲响应函数对加工前后各空间频率成分的变化情况(即PSD谱)进行预测预报。本发明的预测方法不仅更为简单、更具可操作性，而且使预测结果更加直观、可靠、全面。

主权项

1、一种离子束抛光加工结果的预测预报方法，包括以下步骤：(1)确定抛光工艺的去除函数：用待预测的抛光工艺过程进行去除函数试验获取去除函数，经试验获取的去除函数记为p(x，y)；(2)确定抛光工艺过程等效的滤波器单位脉冲响应函数：将上述去除函数p(x，y)归一化即为等效的滤波器单位脉冲响应函数h(x，y)，所述$h(x,y)=\frac{1}{B}p(x,y),其中B是去除函数p(x，y)的二重积分，$ B={\int }_{-\infty }^{\infty }{\int }_{-\infty }^{\infty }p(x,y)\mathrm{dxdy};(3)检测面形误差分布：利用面形检测装置对待加工光学镜面进行误差检测，检测得到的面形误差记为s(x，y)；(4)预测加工后的面形残差：根据面形误差s(x，y)和滤波器单位脉冲响应函数h(x，y)计算加工后的面形残差e(x，y)，计算公式为$ e(x,y)=s(x,y)-h(x,y)\otimes s(x,y),根据计算所得的面形残差e(x，y)进而实现对离子束抛光加工结果的预测预报。$$$