[发明专利]一种用于非球面面形测量的组合式干涉装置

摘要

一种用于非球面面形测量的组合式干涉装置，其构成包括：一个激光器、一个空间滤波器、两个扩束系统、一个缩束系统、一个分光镜、一个转换透镜、三块偏振片、两块光学平板、四个楔角很小的圆形光楔、一个分束光栅、一块1/4波片、一个偏振片组和一个CCD。在该装置中，测量的实时性是通过同步移相法实现；而变频功能是通过转动两对双光楔来实现。本实验装置采用普通光学元件成本低，不仅可测量多种口径的非球面，对平面和球面同样适用，可实现普通环境下的实时高精度测量，而且具有变频功能，对处理存在不连续区域的镜面非常有效。

主权项

1.一种用于非球面面形测量的组合式干涉装置，有激光器(1)，其特征在于，沿激光器(1)产生激光的水平前进方向依序设置空间滤波器(2)、扩束系统(3)、分光镜(4)、转换透镜(5)、被测非球面镜(21)；所述激光再次经过分光镜(4)反射后形成第一垂直光路，在该垂直光路先后放置45°偏振片(6)和第一光学平板(7)，激光通过第一光学平板(7)后形成两条水平光路，在下面较小口径光路中沿激光前进方向依序设置垂直偏振片(8)、缩束系统(10)、第一光楔(12)、第二光楔(13)；在上面较大口径光路中沿激光前进方向先后放置水平偏振片(9)、扩束系统(11)、第三光楔(14)、第四光楔(15)，在第二光楔(13)和第四光楔(15)之后放置第二光学平板(16)；两路光通过第二光学平板(16)后形成第二垂直光路，在该第二垂直光路沿激光前进方向依序设置分束光栅(17)、1/4波片(18)、偏振片组(19)和CCD(20)。