[发明专利]一种化学机械抛光液无效
| 申请号： | 200810035594.4 | 申请日： | 2008-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101550319A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 徐春 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/18 | 分类号： | C09G1/18;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203上海市浦东新区张江高科*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械抛光液，其含有研磨颗粒、氧化剂和水，其还含有下列表面摩擦调节剂中的一种或多种：水溶性多聚脂肪链类聚合物、水溶性醇类、水溶性醚类和水溶性纤维素类。本发明的抛光液可降低表面磨擦系数，减少抛光基底表面的缺陷(划伤、腐蚀和表面颗粒等)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械抛光液，其含有研磨颗粒、氧化剂、络合剂和水，其特征在于：其还含有下列表面摩擦调节剂中的一种或多种：水溶性多聚脂肪链类聚合物、水溶性醇类、水溶性醚类和水溶性纤维素类。
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