[发明专利]XYY精密定位平台的校准方法

摘要

本发明提供了一种XYY精密定位平台的校准方法，用于在单一流程中全部解决执行器校准、解耦和伸缩传感器校准的问题。所述方法通过在XYY精密定位平台外设置一独立的位置传感器，并依次完成执行器校准、伸缩传感器校准和解耦矩阵校准来实现。该方法充分利用了独立于平台的位置传感器，不但用它来做解耦，还用它来做执行器校准和伸缩传感器校准，此外，利用矩阵运算的叠加性质，还可简化解耦过程。本发明的校准方法校准精度高，速度快，可实现全自动校准，对光刻机而言，不额外增加专用设备，完全利用光刻机中的现有设备就可实现。

主权项

1、一种XYY精密定位平台的校准方法，所述平台具有一控制器，所述控制器连接至三个执行器，每个执行器进一步包括一个功率放大部件、一个电机、一个伸缩机构和一个校正部件，所述的三个执行器中一共包括三个伸缩机构，这三个伸缩机构分别为一个X方向的伸缩机构，记为x伸缩机构，以及两个Y方向的伸缩机构，记为y1、y2伸缩机构，所述控制器还连接至三个伸缩传感器，分别记为x伸缩传感器和y1、y2伸缩传感器，其特征在于，所述的三个伸缩传感器分别用来探测x伸缩机构、y1伸缩机构和y2伸缩机构的伸缩量，所述校准方法包括下列步骤：(1)执行器校准，用于对来自控制器的控制值F进行校正，以得到校正后的控制值F′，将F′送入功率放大部件，转换成电流值I′后再送入电机；(2)伸缩传感器校准，使所述平台分别沿X方向和Y方向移动一段距离，通过对平台的坐标以及伸缩传感器的探测和计算，分别得到三个伸缩传感器各自的误差比例；(3)校准解耦矩阵，分别使三个伸缩机构中的两个保持静止，另一个伸长或者缩短一段距离，并通过伸缩传感器读取平台坐标，以计算出解耦矩阵。