[发明专利]无推进长寿命阴极电弧源装置无效
| 申请号： | 200810037103.X | 申请日： | 2008-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101265565A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 沈耀;戴华;王婧;蔡珣 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种无推进长寿命阴极电弧源装置，属于材料表面处理技术领域。本发明包括：阴极电弧靶、阴极底座、可动屏蔽罩、支撑屏蔽罩、屏蔽罩底座、水冷阳极、触发装置。阴极电弧靶和阴极底座采用螺纹连接，支撑屏蔽罩一端通过内螺纹和屏蔽罩底座相连，另一端通过内螺纹和可动屏蔽罩连接，可动屏蔽罩与支撑屏蔽罩之间通过螺纹实现相对移动，水冷阳极和阴极电弧靶之间电绝缘，触发装置和阴极电弧靶的工作端面靠近，通过触发装置和工作端面的接触和分离来引发电弧。本发明通过对可动屏蔽罩和支撑屏蔽罩相对位置的调节，实现了对大尺寸阴极电弧靶的兼容，提高了阴极电弧靶的寿命，实施简单，成本低廉，对电弧侧烧的屏蔽效果明显。 | ||
| 搜索关键词： | 推进 寿命 阴极 电弧 装置 | ||
【主权项】：
1、一种无推进长寿命阴极电弧源装置，包括：阴极电弧靶、阴极底座、屏蔽罩底座、水冷阳极、触发装置，其特征在于，还包括可动屏蔽罩、支撑屏蔽罩，阴极电弧靶和阴极底座之间采用螺纹连接，支撑屏蔽罩的一端通过内螺纹和屏蔽罩底座相连，同时另外一端通过内螺纹和可动屏蔽罩连接，可动屏蔽罩与支撑屏蔽罩之间通过螺纹实现相对移动，水冷阳极和阴极电弧靶之间电绝缘，触发装置和阴极电弧靶的工作端面靠近，通过触发装置和工作端面的接触和分离来引发电弧。
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