[发明专利]平衡减震台有效
| 申请号： | 200810037650.8 | 申请日： | 2008-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN101290477A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 吕洋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16F15/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种平衡减震台，包括基础框架、辅助平衡块、主平衡块、平面平衡机构、工作台以及两连杆矫正机构；所述辅助平衡块一端面连接在基础框架上，另一端面与主平衡块连接；两连杆矫正机构通过固定基座固定在辅助平衡块上，另一端连杆与主平衡块连接；所述平面平衡机构设置在主平衡块上，并连接工作台。上层主平衡块用于平衡工件台运动产生的作用力X，Y和Rz。下层辅助平衡块只是作为一个辅助，在整个运动过程中只使用两个电机，结构简单，并且实现了完全的减震隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 平衡 减震 | ||
【主权项】：
1、一种平衡减震台，其特征在于包括：基础框架、辅助平衡块、主平衡块、平面平衡机构、工作台以及两连杆矫正机构；所述辅助平衡块一端面连接在基础框架上，另一端面与主平衡块连接；两连杆矫正机构通过固定基座固定在辅助平衡块上，另一端通过连杆与主平衡块连接；所述平面平衡机构设置在主平衡块上，并连接工作台。
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