[发明专利]铝垫电化学刻蚀方法有效
| 申请号： | 200810038385.5 | 申请日： | 2008-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101591797A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 周鸣;王新鹏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C25F3/04 | 分类号： | C25F3/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭露了一种铝垫电化学刻蚀方法，利用电化学刻蚀方式代替了传统的干法刻蚀来实现铝垫(Al pad)刻蚀工艺中铝的刻蚀，从而避免了传统工艺中聚合物的生成，解决了因其产生的铝腐蚀与残留物问题。其中该电化学刻蚀所采用的电解液包括乙醇(CH3CH2OH)、磷酸(H3PO4)和水(H2O)，且乙醇(CH3CH2OH)所占的比率为15％～25％，磷酸(H3PO4)所占的比率为20％～30％。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学 刻蚀 方法 | ||
【主权项】：
1.一种铝垫刻蚀工艺中铝的刻蚀方法，其特征是，采用电化学刻蚀方式实现对铝的刻蚀，其中该电化学刻蚀所采用的电解液包括乙醇(CH3CH2OH)、磷酸(H3PO4)和水(H2O)，且乙醇(CH3CH2OH)所占的比率为15％～25％，磷酸(H3PO4)所占的比率为20％～30％。
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